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ANNEALSYS快速热化学气相沉积系统MC-050

带灯加热的直接液体喷射汽化器使 MC-050成为一种独特的机器,具有像集群工具一样的多工艺能力,但在一个单一的工艺室内。Annealsys MC-050系统是为满足研发单位的要求而开发的2英寸DLI-...
  • 品牌:ANNEALSYS
  • 型号:MC-050
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产品介绍

带灯蒸汽加热的直观药液引射气化器使 MC-050称得上一类有趣的机,享有像集群式软件一致的多流程特性,但在个单调的流程室内吊顶。 Annealsys MC-050平台是为够满足生产制造公司的规定要求而的开发的2厘米DLI-CVD/DLI-ALD作用器。 红外灯炉与随便液态体装入真空泵器相整合,在同一时间加工阳台阳光房提拱奇特的多加工本事:CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD。 直接性全自动添加 (DLI) 蒸馏器稳定制前体总流量,并能食用低气体压和配制的耐腐蚀前体。与旁通阀有关的的前体水蒸汽流的短时间调成为納米层托板的的堆积出示了用户界面把握。 MC-050是便用范围广的粉末状和液状体巧妙金属用料前体开发技术新用料和nm层压用料的刷卡机。

性能特点

MC-050 不错用多的有机会金属件前体参与检查是否液相形成和原子团层形成加工工艺,同一给出原位去应力退火系统。
  • 气体混合能力与质量流量控制器
  • 6个汽化器
  • 手套箱装载选项
  • 可选择高真空能力

可选功能与配件

MC-050可配齐6个进行夜体侵入蒸馏器和5个应用在高水蒸气压前体的起泡器。
  • 高温计温度控制
  • 粗真空泵、涡轮泵
  • 手套箱接口和手套箱
  • 远程等离子
  • 臭氧发生器

技术参数

  • 基板尺寸:直径可达2英寸
  • 温度范围:室温至 1100°C
  • 电压:3x400V+N+Gr/3x220V+Gr
  • 功率:21千瓦
  • 水:2至4巴,压降1巴,8升/分钟
  • 压缩空气:6巴(阀门驱动)
  • 真空范围:大气压至 10-3 Torr
  • 产地:法国

产品应用

MC-050打造了广泛的的新建材制作业务能力,涵盖单金屬材质空气氧化反应物和多金屬材质空气氧化反应物还有淡入金屬材质●二混炼物 (TMD) 和其它二维建材。
  • 简单和多金属氧化物
  • 金属、氮化物和合金
  • III-V,宽带隙半导体
  • 二维材料:石墨烯、氮化硼、MoS2、WS2、MoSe2、WSe2 ...
  • ETC

规格参数


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